Elektronische Bauelemente

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) ist im Department Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik der Technischen Fakultät angesiedelt und arbeitet eng mit dem Fraunhofer IISB zusammen. Er betreibt Forschung und Entwicklung in den Bereichen Technologie und Fertigung elektronischer Bauelemente. Die Aktivitäten umfassen die Entwicklung, Simulation und Charakterisierung neuer Herstellungsverfahren und Bauelemente, die Prozessintegration sowie die Entwicklung und Optimierung von Anlagen und Materialien für die Leistungselektronik, Mikro- und Nanoelektronik. Neben der Silizium-Halbleitertechnologie fokussiert sich der Lehrstuhl auf Bauelemente auf Basis von Halbleitern mit großer Bandlücke sowie auf anorganische Dünnschichtelektronik. Dem LEB stehen 1.000 m² Reinraumfläche im Maßstab einer industriellen Halbleiterfertigung zur Verfügung. Die Geräteausstattung bietet hervorragende Voraussetzungen für industrienahe Ausbildung und Forschungsaufgaben. Gemeinsam mit dem Fraunhofer IISB wird eine umfangreiche Prozesstechnik betrieben, die industriekompatible Prozessschritte für Teststrukturen und -bauelemente auf Silicium und Siliciumcarbid (SiC) ermöglicht.

Beispiele für die Arbeitsgebiete sind:

• Halbleiter-basierte Kondensatoren für hohe Betriebsspannungen
• SiC-Feldeffekttransistoren
• Halbleiter-Sensoren auf SiC
• Charakterisierung und Zuverlässigkeitsuntersuchungen von Bauelementen
• Dünnschicht-Transistoren
• Gedruckte Elektronik auf Basis anorganischer Nanopartikel

www.leb.tf.fau.de